2.電極の設計
まず最適な電極形状であるが、図2においてw1=8[mm]、gap=15[mm]、d=1.8[mm]とする。次にコプレーナウェーブガイド電極とシールド板の間隔h3に対する信号波の等価屈折率Nmと特性インピーダンスZの計算結果を図3に示す。計算方法は電極における表面電荷による有限要素法を用いた。また、LNの比誘電率をe=(43×28)1/2=34.7、SiO2バッファ層の比誘電率をe=4とした。この時、h3=5.5[mm]で、速度整合条件及びインピーダンス整合条件Z=50[W]を満足することがわかる。
図2 シールド板を付加したコプレーナウェーブガイド
図3 実効屈折率と特性インピーダンスのシールド板の高さによる変化